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晶圓處理平臺
Logosol 晶圓處理平臺涵蓋了多種產(chǎn)品和服務，源自超過 30 年的半導體自動化經(jīng)驗。其技術(shù)包括硬件、軟件、機械設計、制造、集成和應用工程。公司設計的晶圓處理機器人和預對準器，旨在滿足需要在半導體制造廠內(nèi)替換舊產(chǎn)品的應用需求，并支持OEM制造商的新開發(fā)資本設備中的自動化物料處理。這些產(chǎn)品線使用完全由 Logosol 擁有和控制的技術(shù)，包括運動控制電子、晶圓處理固件、軟件工具、公用設施和機械設計。擁有整個技術(shù)光譜的可用性，確保了高度的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。
機器人許可
Logosol 在晶圓處理自動化領域具有悠久的歷史，將其專有技術(shù)許可給多個實體。產(chǎn)品包括多種機器人尺寸和臂型配置，作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分。被許可方可以受益于公司在半導體自動化領域的廣泛經(jīng)驗、經(jīng)過驗證的產(chǎn)品和解決方案，以及超過30年的領域經(jīng)驗。我們公司提供一套全面且高度可定制的統(tǒng)一技術(shù)，涵蓋項目的每個方面，從機械設計到運動控制電子、固件、軟件工具和公用設施。無論您需要簡單還是復雜的解決方案，我們都可以根據(jù)您的特定需求定制技術(shù)。您將完全掌控您的項目，而無需依賴第三方添加。我們的技術(shù)設計靈活、可擴展且可靠，確保高性能和質(zhì)量標準。公司不僅提供制造許可證和文檔，還提供構(gòu)建整個產(chǎn)品所需的機器人控制器、電源和特定電子模塊。此外，Logosol 還提供最全面的晶圓預對準器，與所有已授權(quán)的晶圓處理機器人完美集成。
機器人控制器
LRC-x31g3 是三軸、四軸和五軸機器人控制器，配有集成的 CPU 板和功率放大器，設計用于精確控制旋轉(zhuǎn)或線性無刷電機的應用。它們可以用作內(nèi)置或外部控制器。LRC-x31g3 通過主機的 RS-232 或 10/100 Base-T 以太網(wǎng)接口進行控制。可以通過 Logosol 分布式控制網(wǎng)絡擴展接口無縫連接額外的外部設備。LRC-x31g3 配備了多種安全功能，如輸出和電機短路保護、欠壓停機和編碼器存在控制、智能停止功能，以避免機器外部停止或斷電時機器人臂掉落。支持非常高分辨率編碼器的先進運動控制技術(shù)可實現(xiàn)卓越的多軸軌跡生成。硬件輔助位置鎖存技術(shù)提高了飛行中晶圓對準的精度。
運動控制框架
MCL5 是 Logosol 第五代專有運動控制軟件包，提供領域特定的編程語言和多任務實時解釋器。這是一個專門用于機器人控制應用設計的編程框架。MCL5 可執(zhí)行文件集成了運動控制器和 I/O 模塊，實現(xiàn)了各種機器人運動學，支持復雜的軌跡運動，并監(jiān)控系統(tǒng)完整性。該可執(zhí)行文件還包括一個實時多任務腳本解釋器，允許設計應用特定的腳本，這些腳本可以用于協(xié)調(diào)機器人運動的順序并實現(xiàn)自定義的主機通信協(xié)議。該腳本語言由一組保留字定義，表達式語法類似于 C 編程語言。
美國,logosol 晶圓處理平臺演示視頻：
產(chǎn)品資料：
isel Germany iselRobotik 晶圓處理機器人
由 Logosol 共同設計和提供動力
Milara Diamond 晶圓處理機器人
由 Logosol 授權(quán)并提供動力
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