除了提供先進(jìn)的表面分析部件外,LK Technologies 還專注于完整超高真空(UHV)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與制造,這些系統(tǒng)通常將 LK 自主研發(fā)的表面分析模塊與其他品牌的儀器集成在一起,支持多種分析方法的聯(lián)用。
🧩 系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置包括:
精密 UHV 腔體(定制)
主泵(通常為離子泵)
輔助泵(通常為渦輪分子泵)
精密樣品操作平臺(tái)(Manipulator)
安裝框架結(jié)構(gòu)
真空測(cè)量模塊(壓力計(jì)、熱偶規(guī)等)
⚙️ 常見客戶選配件:
快速樣品引入系統(tǒng)(Load Lock)
烘烤控制系統(tǒng)(Bake-Out Controller)
以下展示的是部分已在全球?qū)嶒?yàn)室成功交付使用的系統(tǒng)示例:
✅ 應(yīng)用案例
1️⃣ 多探頭分析系統(tǒng)
搭載以下模塊:
2️⃣ 緊湊型 LEED/AES 分析系統(tǒng)
配置包括:
3️⃣ HREELS 多通道系統(tǒng)
EA5000MCA 高分辨能量分析儀,具備:
極快數(shù)據(jù)采集能力
保持高能量分辨率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)多通道并行分析
配備完整樣品表征和加載系統(tǒng)
4️⃣ TDS1000 熱脫附系統(tǒng)
支持材料分析的模塊化平臺(tái)
可靈活擴(kuò)展至 LEED 衍射、AES、離子刻蝕等技術(shù)