除了表面分析組件外,LK Technologies 還專門設(shè)計和制造完整的 UHV 系統(tǒng),這些系統(tǒng)通常結(jié)合了 LK 組件和其他制造商的多種表面分析方法。
這些系統(tǒng)的常見元件是精密 UHV 腔室、主泵(通常是離子泵)、輔助泵(通常是渦輪分子泵)、精密樣品縱器、安裝框架和真空測量。客戶通常要求的可選組件是快速進樣系統(tǒng)(加載鎖定)和烘烤控制。
多探針分析系統(tǒng)由帶 X 射線單色儀的 XPS 分析、半球分析儀、AES、ISS、多通道 HREELS 和帶有快速樣品加載系統(tǒng)的完整樣品制備室組成。