離子源:NGI3000

LK-Technologies強大,流行的離子源設(shè)計用于通過離子濺射清潔表面,光束能量高達3 keV,典型離子電流高達30μA。該噴槍采用了一種新穎的氣體噴射系統(tǒng),該系統(tǒng)允許在典型的1×10?-6托的腔室壓力下進行濺射。

  • 專利的氣體注入系統(tǒng)避免了昂貴的差動泵送設(shè)備
  • 低室壓下的惰性氣體濺射
  • 寬離子束確保均勻濺射
  • 與普通濺射清潔和ISS應(yīng)用兼容
  • 連續(xù)可調(diào)諧的電壓從200 V到3 kV
  • 帶USB或以太網(wǎng)接口的數(shù)字控制電子設(shè)備

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