能量范圍:?1?keV?to?30?keV

束流范圍：10nA到1μA

光斑尺寸:?0.015mm到0.5mm?

安裝方式:?4?CF法蘭或者6CF法蘭
特點：操作時內(nèi)調(diào)整，四極對其，八極偏轉(zhuǎn)，撓曲，掃描光柵，消象散器，消隱，內(nèi)聯(lián)法拉第杯，內(nèi)部磁屏蔽，差動泵浦

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：雙光柵脈沖（2us-DC)，內(nèi)聯(lián)束消隱（束監(jiān)控2us-DC），硬件光柵