Kimball 離子源 離子槍 IMG-4212 / IGPS-3212

能量范圍：?1 keV 至 20 keV

光束電流：?1 nA 至 2 μA

光斑尺寸：?500 μm 至 25 mm

工作距離：?100 毫米至 1000 毫米