美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]

美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8100/ EGPS-8100 [原 EGH-8101]

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

高能電子槍系統(tǒng) （< 100 keV）

型號 #： EGH-8100 EGPS-8100

描述

高能量、大電流、泛光電子束

1 keV 至 100 keV

應(yīng)用：

功能/選項：

  • 光束電流高達(dá) 1 mA（20 mA 脈沖）
  • 脈沖能力
  • 大電流脈沖
  • 運行期間的內(nèi)部對準(zhǔn)
  • 用戶可更換的點火裝置
  • 提供計算機控制
  • 泛光光束

能量范圍：1 keV 至 100 keV
束流：10 nA 至 1 mA（脈沖束高達(dá) 20 mA）
光斑尺寸：3 mm 至 100 mm
系統(tǒng)安裝法蘭：6CF
渦輪泵安裝法蘭：4.5 英寸 （41/2） CF
規(guī)格 安裝法蘭：（3） 2.75 英寸 （23/4） CF

Kimball Physics EGH-8100 電子槍及其匹配的 EGPS-8100 電源是一個完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8100 可應(yīng)用于空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線生成和等離子體激發(fā)。

該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能量、大電流的電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié);能量從 1 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA（20 mA 脈沖）。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進行脈沖傳輸。

該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極進行機械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。


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