美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-8105 / EGPS-8105
Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開(kāi)。
許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。
我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：
Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。
高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。
下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。
高能電子槍系統(tǒng) （< 100 keV）
描述
可聚焦泛光高能電子束
1 keV 至 100 keV
應(yīng)用：
- 一般真空物理學(xué)
- 航天器材料測(cè)試
- 特高壓充電
- 表面物理學(xué)
功能/選項(xiàng)：
- 均勻泛光光束
- 光束清洗可實(shí)現(xiàn)均勻的光斑尺寸
- 靜電聚焦
- 儀表端口 （2 x 1.33”）
- 運(yùn)行期間的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)
- 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 6“ CF 法蘭安裝
- UHV 技術(shù)和可烘烤
- 電腦 / 遙控器
- LabVIEW™ 計(jì)算機(jī) / 編程
- 磁偏轉(zhuǎn)
- 脈沖、光柵
能量范圍：1 keV 至 100 keV
束流：50 nA 至 100 μA
光斑尺寸：10 mm 至 500+ mm
安裝：6.0“ CF
Kimball Physics EGH-8105 電子槍及其匹配的 EGPS-8105 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-8105 是一款高功率、可聚焦的泛光槍?zhuān)糜诤教炱鞑牧蠝y(cè)試和其他表面物理和一般真空物理應(yīng)用。
這是一種高能、可聚焦的泛光電子束系統(tǒng)，其中束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)?？梢詫?shí)現(xiàn) 1 keV 至 100 keV 的能量和從皮安 （pA） 到毫安 （mA） 的電流。電子束可以通過(guò)控制網(wǎng)格的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖傳輸。
噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。提供磁束清洗選項(xiàng)，可顯著提高光束均勻性。靜電聚焦透鏡可控制泛光光束光斑尺寸，通常為數(shù)十厘米。然而，作為泛洪式噴槍?zhuān)獍叽笮∫膊糠秩Q于網(wǎng)格、陽(yáng)極和工作距離。
該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對(duì)于陽(yáng)極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)噴槍在全電壓下運(yùn)行并打開(kāi)光束時(shí)，可以實(shí)時(shí)完成這種對(duì)準(zhǔn)。點(diǎn)火裝置彈藥筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔）可由用戶更換，無(wú)需從真空室中取出噴槍。用過(guò)的點(diǎn)火裝置可以退回工廠進(jìn)行重建。
