美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),ELG-2 / EGPS-1022

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅固耐用，真空度高達 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個低能電子槍系統(tǒng)的典型應用和功能的比較。

型號 #： ELG-2 EGPS-1022

描述

能量掃描：恒定束流和近似恒定的光斑尺寸

新的更低能量范圍，可提高分辨率

1 eV 至 2000 eV

應用：

功能/選項：

  • 能量范圍廣
  • 極低能量
  • Constant Beam Current
  • 恒定光斑大小
  • 變焦鏡頭對焦
  • 可拆卸噴槍
  • 高速脈沖
  • 偏轉(zhuǎn)、柵格化
  • 電腦/遙控器

能量范圍：1 eV 至 2 keV
光束電流：1 nA 至 10 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 5 mm
安裝：2.75 英寸（23/4CF，可拆卸選項
）特點/選項：用于能量掃描、偏轉(zhuǎn)、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦

Kimball Physics ELG-2 電子槍及其配套的 EGPS-1022 電源旨在用于電子刺激解吸研究、二次電子發(fā)射系數(shù)測量研究、表面物理和其他真空物理研究。它是一個完整的子系統(tǒng)，隨時可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并啟動。

光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)。能量在 1 eV 到 2000 eV 之間變化，包括低范圍，以提高最低能量下的分辨率。通過使用多級和計算機設計的電子變焦鏡頭，在能量的兩個數(shù)量級變化中保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。該槍可以在 2 cm 的工作距離和 10 eV 的范圍內(nèi)向大約 1 mm 的光斑提供 1 μA 的電流。電子槍使用單電位耐火陰極產(chǎn)生低能量擴散光束。

全程采用 UHV 技術。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 最多 10-5torr 用于標準 Ta 盤陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。


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