美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量(最大 30 keV),EGA-1012 / EGPS-1012
Kimball Physics 是電子槍(束)系統(tǒng)的領(lǐng)先供應(yīng)商,其設(shè)計(jì)適用于各種超高真空 (UHV) 表面物理、空間物理和加工應(yīng)用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸,用于 X 射線生產(chǎn)、焊接和 RHED 等應(yīng)用;或用于泛光束,用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。
操作范圍
- 能量范圍:1 eV 至 100 keV
- 光束電流范圍:1 nA 至 20 mA
- 光斑尺寸范圍:15 μm(聚焦柱)至 500+ mm(泛光光束)
性能
- 束流穩(wěn)定性:反饋穩(wěn)定發(fā)射電流控制;優(yōu)于每小時(shí) ± 0.1%
- 能量穩(wěn)定性:±每小時(shí) 0.01%,全輸出時(shí)每 8 小時(shí)± 0.02%,以最大限度地減少色差
方便
- 客戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 全運(yùn)行期間的機(jī)械對(duì)中
- 可存儲(chǔ)控件設(shè)置
- 電腦遙控器/計(jì)量
運(yùn)營(yíng)能力
描述
大電流、中等直徑、低能量電子束
5 eV 至 1000 eV
應(yīng)用:
- 表面物理研究
- 真空物理實(shí)驗(yàn)
- 電荷中和
- 電子解吸
- 表面清理
- 熒光粉測(cè)試
- 電離實(shí)驗(yàn)
- 半導(dǎo)體加工
功能/選項(xiàng):
- 光束電流高達(dá) 2mA
- Feedback Stabilized Emission Current
- 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
- UHV 兼容 / 可烘烤
- 電腦 / 遙控器
- 光束脈沖選項(xiàng)
能量范圍:5 eV 至 1k eV
光束電流:1 μA 至 2 mA
光斑尺寸:10 mm 至 25 mm(無聚焦能力)
安裝:2.75“ CF
特點(diǎn)/選項(xiàng):泛光光束、脈沖、雙網(wǎng)格
Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源,旨在用于各種超高真空 (UHV) 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理和需要低能量高束流的加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng),隨時(shí)可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發(fā)散度都是可獨(dú)立調(diào)節(jié)的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產(chǎn)生均勻的泛光光束。這種設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。
全程采用 UHV 技術(shù)。電子槍可在高達(dá) 350°C 的溫度下烘烤,無需電纜。使用法拉第杯時(shí),最大值為 65oC 除非被刪除。
標(biāo)準(zhǔn)陰極是一個(gè)大電流、堅(jiān)固的釔涂層圓盤 (Y2O3).陰極在寒冷時(shí)不會(huì)因反復(fù)暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關(guān)的函數(shù)。在良好真空下,低電流下的陰極壽命可能長(zhǎng)達(dá)數(shù)百小時(shí),甚至超過一千小時(shí)。