美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EGA-1012 EGPS-1012

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描述：
大電流、中等直徑、低能電子束
5 eV至1000 eV

應(yīng)用：
表面物理研究
真空物理實驗
電荷中和
電子解吸
表面擦洗
熒光粉測試
電離實驗
半導(dǎo)體加工

功能/選項：
束流高達2mA
反饋穩(wěn)定發(fā)射電流
用戶可更換的點火裝置
特高壓兼容/可烘烤
計算機/遠程控制
光束脈沖選項

能量范圍：5 eV至1 k eV
束流：1μA至2mA
光斑尺寸：10毫米至25毫米（無聚焦能力）
安裝：2.75英寸CF
功能/選項：泛光光束、脈沖、雙柵格

Kimball Physics EGA-1012電子槍及其配套的EGPS-1012電源適用于各種超高真空（UHV）物理實驗、表面物理和低能量下需要高束流的加工應(yīng)用。它是一個完整的子系統(tǒng)，可以隨時連接和打開。束能、束流和束發(fā)散都可以獨立調(diào)節(jié)。EGA-1012電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產(chǎn)生均勻的泛光束。這種設(shè)計允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。

特高壓技術(shù)貫穿始終。拆下電纜后，電子槍可烘烤至350°C。使用法拉第杯時，除非移除，否則最高溫度為65℃。
標準陰極是一個高電流、堅固的氧化釔涂層盤（Y2O3）。陰極在寒冷時不會因反復(fù)暴露于大氣氣體或水蒸氣而損壞。該槍可以在10-1torr至10-5torr的真空中運行。陰極壽命是真空條件和與陰極溫度相關(guān)的束流的函數(shù)。在良好真空條件下，低電流下的陰極壽命可能在數(shù)百小時，甚至超過一千小時。