Infrared Microscope (IR-M?)
紅外顯微鏡
硅片是集成電路（IC）和微電子機械系統（MEMS）制造中必不可少的組成部分。在紅外（IR）范圍內能夠透視這種半導體材料對于制造過程的質量控制非常有利。
idonus紅外硅片檢測顯微鏡（IR-M）配備了長工作距離物鏡。3級變焦允許用戶選擇合適的視場和放大倍率。紅外敏感攝像頭通過USB 3.0通信將檢測樣品的圖像顯示在計算機上。分辨率優(yōu)于3 μm，并配備5×物鏡。
此外，還提供頂部照明功能。這使顯微鏡可以在傳統模式下使用，并檢查硅片的頂部表面。紅外顯微鏡配備了XY臺，可容納直徑200毫米（8英寸）或更小的硅片。可選地，XY臺可以由電機驅動，通過圖形用戶界面（GUI）和/或操縱桿方便地控制。
應用領域
idonus IR-M 在半導體和MEMS設備檢測等方面有著多種應用：
-通過透射成像觀察硅片（例如微結構硅片）
-檢查太陽能電池的功率效率
以下圖片是通過IR-M成像顯微鏡拍攝的。它們展示了一個微結構的絕緣層硅（SOI）硅片。第一張圖片顯示了經典顯微鏡圖像，使用了頂部照明（可見光譜）。第二張圖片是使用紅外照明（IR透射模式）拍攝的，展示了基層和器件層之間埋藏的氧化硅（SiO2）。
idonus紅外硅片檢查顯微鏡（IR-M）- 所示版本包括電動XY平臺。
DIM Double Image Microscope (DIM?) idonus idonus sàrl Infrared Microscope IR-M MAS MAS + DIM Mask Aligner Mask Alignment System (MAS?) MEMS MEMS器件 MEMS造設備 Mercury-vapor lamp Shadow Mask Aligner UV-EXP系列 UV-LED UV-LED exposure系統 具有雙圖像顯微鏡的掩模對準系統 掩模對準器 掩模對準系統 汞氣燈 瑞士IDONUS 瑞士idonus sàrl 紫外-LED曝光系統 紫外LED光刻曝光系統 紫外照明系統 紅外顯微鏡 紅外硅片檢測顯微鏡 蔭罩對準器 蔭罩掩膜對準器
