單芯片處理是一個耗時的過程，并且經(jīng)常伴隨著高芯片損耗。我們開發(fā)了一種多芯片支架，可以夾住多達(dá)7×7個不同尺寸的芯片。該系統(tǒng)配有真空系統(tǒng)。多芯片支架適用于各種濕法刻蝕和芯片清洗工藝。