靜電夾具能夠通過靜電力將多個芯片或晶圓部分固定在晶圓支架上。

該設(shè)備對于研發(fā)機構(gòu)極為實用，尤其是在無法處理完整晶圓的情況下。靜電夾持芯片可以在HF蒸汽釋放之前執(zhí)行MEMS晶圓的嚴苛切割工藝。通過調(diào)整傳統(tǒng)的制造流程，可以生產(chǎn)具有極軟懸掛結(jié)構(gòu)的MEMS器件。

靜電夾具的使用非常簡單。將芯片放置在晶圓支架上，然后通過控制器上的開關(guān)啟動靜電力。此外，靜電力的強度可以調(diào)節(jié)。