單芯片處理是一個(gè)耗時(shí)的過(guò)程，并且經(jīng)常伴隨著高芯片損耗。我們開(kāi)發(fā)了一種多芯片支架，可以?shī)A住多達(dá)7×7個(gè)不同尺寸的芯片。該系統(tǒng)配有真空系統(tǒng)。多芯片支架適用于各種濕法刻蝕和芯片清洗工藝。