Huntington L系列線性運(yùn)動(dòng)引入裝置
L系列電動(dòng)與氣動(dòng)微型線性運(yùn)動(dòng)裝置技術(shù)規(guī)格
密封結(jié)構(gòu):焊接波紋管
真空接觸材料:不銹鋼
溫度參數(shù):
烘烤溫度:200°C(最高,需拆除電機(jī)時(shí))
工作溫度范圍:
電動(dòng)型:-20°C 至 80°C
氣動(dòng)型:-20°C 至 150°C
壓力范圍:常壓至 1×10?11 Torr
負(fù)載能力:
最大軸向負(fù)載:
電動(dòng)型:10 磅(4.5 公斤)同心負(fù)載
氣動(dòng)型:25 磅(11.3 公斤)同心負(fù)載
最大側(cè)向負(fù)載:5 磅(1.36 公斤)@縮回位置末端
精度參數(shù):
線性刻度分辨率:0.05 英寸(1 毫米)
表盤分辨率:0.002 英寸(0.05 毫米)
電動(dòng)型精度:51,200 微步/轉(zhuǎn)
步進(jìn)電機(jī):1.8°/整步
機(jī)械參數(shù):
螺紋導(dǎo)程:每轉(zhuǎn) 0.05 英寸(1.3 毫米)
氣動(dòng)執(zhí)行器參數(shù):
接口尺寸:1/8″ NPT
驅(qū)動(dòng)方式:雙作用氣缸
氣壓要求:最大 100psi(6.9 bar)
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