美國Get Control—三軸加速度計測試工具

AMHS(自動物料搬運系統(tǒng))和輸送設(shè)備制造商使用三軸加速度計測試工具,在系統(tǒng)的開發(fā)、安裝和維護過程中對其振動特性進行量化和評估。這款工具已成為業(yè)界標準,被用于200mm和300mm晶圓廠,用以測量其物料搬運系統(tǒng)對晶圓批次所產(chǎn)生的振動。

通過及早檢測軌道錯位的跡象,可以對系統(tǒng)進行維護,從而將施加在晶圓批次上的振動降到最小。該三軸加速度計測試工具既可獨立使用,也可與GCI信息中心配合,借助AMHS車輛提供的位置信息,實現(xiàn)自動記錄和追蹤

GCI 的三軸加速度計測試工具為 AMHS 供應(yīng)商和 最終用戶。該工具同時采集并記錄 X、Y 和 Z 軸上的振動數(shù)據(jù) 自動或手動運輸。

三軸加速度計測試工具由電池供電且自成一體。包括轉(zhuǎn)接板 將工具剛性安裝在 300 毫米 FOUP 內(nèi)。對于 200 mm 應(yīng)用,可以訂購可選的安裝板 將工具剛性安裝在 200 毫米晶圓支架內(nèi)。LCD 顯示屏和鍵盤提供配置訪問 選項。

板載數(shù)據(jù)縮減

三軸加速度計測試工具每秒執(zhí)行 512 個數(shù)據(jù)點的實時板載數(shù)據(jù)縮減 在每個軸上。提供了多個數(shù)據(jù)縮減選項,包括 RMS、Peak、Frequency at Peak 和 True RMS。 板載數(shù)據(jù)縮減以半秒的間隔執(zhí)行(使用 FFT),每 每個縮減類型的每個軸 second。錄制容量受減少類型限制(最長 2 到 6 小時)。

減少的數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部 SD 卡上。在上傳到 PC 之前,可以存儲多個錄制會話 進行分析。提供 RS-232 端口,用于使用?InfoCenter 桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)(請聯(lián)系 GCI)。

時域錄制選項

三軸加速度計測試工具可以選擇配置時域記錄選項,將時域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字存儲卡中。使用此選項,Tri-Axial Accelerometer (三軸加速度計) 測試工具每秒將 512 個時域數(shù)據(jù)點/秒直接記錄到已安裝的 SD 卡上。 錄制容量受 SD 卡可用空間的限制(最長 6 小時)。數(shù)據(jù)縮減是 在 PC 上使用 GCI 的?VibPlot?或?InfoCenter Desktop?應(yīng)用程序提供。

VibPlot 分析應(yīng)用程序

VibPlot 屏幕截圖

VibPlot?提供了對記錄的時間進行頻率分析的工具 domain 數(shù)據(jù)。VibPlot?復制了三軸加速度計中提供的板載數(shù)據(jù)縮減 Test Tool?的 API API 中的其他 API API 的 API API 中,還提供了額外的分析功能,例如三個 維度瀑布圖和顏色頻譜圖。時域數(shù)據(jù)可以是 顯示,以及縮減數(shù)據(jù)(RMS、峰值、真 RMS)和 FFT 的圖表 每 1/2 秒間隔的結(jié)果。

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序在更新的?應(yīng)用程序,該應(yīng)用程序還可以上傳和顯示板載縮減的數(shù)據(jù)集。

特征

  • X、Y 和 Z

測量

  • 頻率 DC 至 150Hz
  • 振動 0.03g 至 2.00g (±0.01g)

電池/充電器

  • 可充電 LIMH 電池組
  • 先進的電池充電電路
  • 鋰電池提供靜態(tài) RAM 備份 – 使用壽命長達 10 年(運行時間)
  • 帶警告指示燈的低電量感應(yīng)。

數(shù)據(jù)分析類型

  • RMS
  • RMS 和峰值
  • RMS、峰值和頻率
  • RMS、峰值、頻率、真 RMS 和 N

加速度計測試工具

用戶界面

  • 2 × 16 字符 LCD
  • 4 鍵鍵盤

Flash PROM

  • 存儲系統(tǒng)固件
  • 使用 GCI 的固件文件輕松升級

內(nèi)置 microSD 卡

  • 存儲錄制會話
  • 存儲容量允許數(shù)百個(取決于錄制長度)單獨的帶時間戳的錄制會話

RS-232 接口

  • 提供一個 RS-232 端口,用于將記錄的數(shù)據(jù)下載到主機 PC。

Related posts