美國GetControl Tri-Axial Accelerometer振動測試儀,用于200mm和300mm晶圓廠

AMHS和輸送機制造商使用三軸加速度計測試工具來量化和確認其系統(tǒng)在開發(fā)、安裝和維護期間的振動特性。該行業(yè)標準工具被200mm和300mm晶圓廠用來測量其物料處理系統(tǒng)對晶圓批料引起的振動。通過檢測軌道偏移的早期跡象，系統(tǒng)可以被維護以盡量減少對晶圓批料的振動。?三軸加速度計測試工具可以作為獨立單元使用或與GCI信息中心結合使用，以自動記錄并提供位置數據，由AMHS車輛提供。

GCI的三軸加速度計測試工具為AMHS供應商和最終用戶提供了一種精確的振動測量解決方案。該工具在自動或手動運輸過程中同時獲取和記錄X、Y和Z軸的振動數據。

GetControl三軸加速度計測試工具由電池供電，自給自足。適配板包括用于將工具牢固安裝在300mm FOUP內。對于200mm應用，可訂購選項安裝板，將工具牢固安裝在200mm晶圓架內。LCD顯示屏和鍵盤提供配置選項的訪問。

機載數據壓縮

該Get Control三軸加速度計測試工具實時對每個軸上的512個數據點進行數據壓縮。提供幾種數據壓縮選項，包括RMS、峰值、峰值頻率和真RMS。每個軸上的數據壓縮在每半秒內進行（使用FFT），每種壓縮類型每秒產生兩個壓縮數據點。記錄容量受壓縮類型限制（最多兩到六小時）。

減少后的數據存儲在內部SD卡上。在上傳到PC進行分析之前，可以存儲多個記錄會話。提供RS-232端口，通過InfoCenter桌面應用程序上傳數據（聯(lián)系GCI）。

時域記錄選項

該Get Control三軸加速度計測試工具可以選配時域記錄?選項，該選項將時域數據記錄到安全數字（SD）存儲卡中。使用此選項，三軸加速度計測試工具每軸每秒直接記錄512個時域數據點到安裝的SD卡上。記錄容量受限于SD卡可用空間（最多6小時）。數據縮減在PC上通過GCI的VibPlot或InfoCenter Desktop應用程序提供。

VibPlot 分析應用程序

VibPlot?提供了對記錄的時間域數據進行頻率分析的工具。?VibPlot?復制了 Get Control三軸加速度計測試工具?中的機載數據減少功能，并提供了額外的分析功能，例如三維瀑布圖和顏色頻譜圖。時間域數據可以與減少數據（RMS、峰值、真RMS）和每個半秒間隔的FFT結果一起顯示。