美國(guó)API ADVANCED PHOTONICS氣體凈化器準(zhǔn)分子激光氣體凈化器C-2000
API 是以下工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者 用于高級(jí)氣體凈化產(chǎn)品。API 凈化器滿足 滿足各種高科技行業(yè)的苛刻要求。 無(wú)論需求是超高純度工藝氣體、高能量 激光或稀有和特種氣體應(yīng)用，都有合適的 API 產(chǎn)品提供必要的吞吐量和效率，以滿足 應(yīng)用程序的需求。
用于準(zhǔn)分子激光器的 API 氣體凈化器提高了激光器的性能 延長(zhǎng)激光機(jī)維修間隔。腐蝕性雜質(zhì) 選擇性地去除由激光作用產(chǎn)生的氣體以保持純度 在混合氣體中。請(qǐng)求 API 技術(shù)簡(jiǎn)報(bào)第 118 號(hào)。產(chǎn)品包括 可滿足不同類型準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)的需求
適用于ArF和氟激光應(yīng)用
適用于在 ArF 和 F 上工作的激光器2、LN2冷卻型 C-2000 經(jīng)濟(jì)、易于使用且高度可靠。 C-2000 還易于安裝、作和維修。 自動(dòng) LN2可以添加重新填充作為額外選項(xiàng)。 C-2000 還可以作為 API C-6000 型凈化器進(jìn)行改裝，用于多氣體作。
| 顆粒過(guò)濾 | < 0.1 微米;> 99.95% 的留存率 |
| 工作溫度 | 77° K. |
| 氣體循環(huán)流量 | 30 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘 |
| 氣體壓力范圍 | 1 至 5 巴（絕對(duì)壓力） |
| 凈液氮容量 | 14 升 |
| 尺寸 | 22 英寸（高）x 19 英寸（寬）x 22 英寸（深） |
