Ambrell感應(yīng)加熱器在鎵晶片的生產(chǎn)上的應(yīng)用

2016年6月30日

目標(biāo)：加熱石墨基座至1200℃，用于沉積鎵砷化物，通過加熱上面的碳石墨，然后將氦氣吹掃過基座，鎵砷化物可以沉積成一個晶圓，需要一個水冷的石英管和大約40升的氦氣（每分鐘），加熱的過程精確度非常重要。

材料：碳石墨基座

溫度：1200℃

應(yīng)用：Ambrell15kw感應(yīng)加熱器，水冷石英管，氦氣，4匝線圈

通過4英寸石英管每分鐘吹掃40升的氦氣

達到1200℃后保持45秒

可觀察到晶圓的產(chǎn)生

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